重磅消息!中芯寧波自主體聲波濾波器晶圓工藝實現量產!

2021-11-13 10:21:11 來源:EETOP
EETOP剛剛從業內消息人士獲悉,中芯集成電路(寧波)有限公司的自主體聲波諧振器工藝技術平臺SASFR® ,已支持多家設計公司實現射頻前端中高頻體聲波濾波器(BAW)量產,客戶產品性能已達到國內最優、業界先進水平,可開始向高端手機供貨,在中國大陸獨樹一幟,也在長期被國外廠商壟斷的中高端體聲波濾波器領域,實現了具有全自主知識產權的核心技術和規模制造突圍。
SASFR®(Suspended Acoustic Separated Film Resonator,也稱“懸浮聲學隔離薄膜諧振器”)是中芯寧波全自主開發并擁有全套自主知識產權的一種懸臂式薄膜體聲波諧振器工藝與器件技術,包含集成空腔的諧振器前道晶圓工藝平臺以及后道晶圓級芯片封裝與測試配套技術。與業界沿用多年的傳統技術路線大相徑庭,SASFR® 平臺在薄膜工藝構架和諧振器件設計上,實現了真正意義上的自主創新突破,且其諧振器關鍵性能指標可與國際競品比肩,個別性能甚至高于國際水平。
這一自主體聲波濾波器晶圓工藝平臺,其核心諧振微器件能夠實現射頻信號的高性能篩選、降噪、濾波或諧振等多重功能?;谶@一平臺設計的0.8至6.0 GHz射頻濾波器產品,具有低插損、高隔離度、微型化、高功率、體積小等諸多優點,應用范圍廣泛,所支持產品設計和開發靈活性強,基本覆蓋了5G通信所有領域,如手機、無線通信基站、智能電表,以及智能家電信息交互等應用場景。
SASFR® 工藝技術和規模制造平臺是中芯寧波的核心產品線之一。2019年啟動產品線研發后,中芯寧波只用不到兩年的時間,就通過了多家客戶的產品認證并實現量產。
據新聲公司負責人表示,選擇中芯寧波作為戰略合作伙伴的最重要原因是,SASFR® 工藝平臺是中芯寧波CEO黃河博士親自率領團隊從零開始全自主開發,知識產權完全自主可控。啟動客戶推廣與產品合作以來,新聲在中芯寧波代工的體聲波濾波器良率和可靠性快速提升。中芯寧波用兩年的時間走過了國外IDM十年的發展道路。
據了解,此前中芯寧波相關業務負責人曾表示,公司CEO黃河博士是SASFR® 的核心發明人。公司研發和晶圓廠運營團隊在黃河博士的領導下從零起步,排除各種質疑,戰勝無數艱難險阻,純粹憑借團隊自身的力量,堅定地走全自主工藝技術開發道路,短時間內完成了全套晶圓制造工藝、晶圓級封裝和測試的開發、設置和驗證并進入產業化,創造了奇跡。
業內專家評價說,中芯寧波SASFR® 制造平臺的成功充分說明,憑借自主創新的堅定決心、團結實干的優秀隊伍和互信共贏的市場合作,完全有可能在一些國外壟斷的領域實現知識產權安全的產業化突破。
隨著5G商用的啟動,國內濾波器出貨量呈現爆發式增長態勢。業內分析機構預測,2022年全球濾波器市場規模將達到160億美元,其中體聲波濾波器占比約47%,市場規模約75億美元。目前,國內中高頻體聲波濾波器市場仍然主要被Broadcom和Qorvo等國外廠商所壟斷。 

關于中芯寧波
中芯集成電路(寧波)有限公司由中芯國際、國家集成電路產業投資基金(大基金)和地方產投基金等聯合投資,2016年底落戶北侖區,是寧波市集成電路產業龍頭企業。公司于2020年12月完成B輪融資后,三家社會資本為并列第一大股東,中芯國際為第四大股東,大基金為第五大股東。

中芯寧波專注于射頻前端、高壓模擬和光電集成特種工藝半導體領域,核心技術和管理團隊以曾在中芯國際從事特種工藝研發和生產的專業成員為基礎,并吸收了來自英特爾、臺積電、瑞薩和應用材料等國內外優秀半導體企業的資深管理和技術專家。目前,公司員工總數約800人,其中研發人員占比約30%,人均經驗超過15年,工程技術人員占比超過85%。

公司規劃建設和運營兩條具有業界先進技術水平的特種工藝集成電路晶圓制造產線,其中位于小港裝備產業園的8英寸N1產線已于2018年11月投產,位于柴橋芯港小鎮的N2項目于2020年6月開工建設,2021年6月如期完成首部機臺搬入。
成立以來,公司在CEO黃河博士的領導下,不忘初心、牢記使命、低調務實、奮斗為本,不以國外任何現成技術為參考,堅定地走基礎性、原理性的自主創新之路,承擔科技部和工信部牽頭的“03專項”和“工業強基”等國家重大專項技術攻關,并構建了完整的知識產權保護體系。公司研發投入逐年遞增,2017年至2020年分別為4000萬元、7200萬元、1.5億元、1.9億元,2021年預計達到3.7億元。截至2021年10月,公司國內國外專利申請總量超過700件,研發團隊人均專利申請量在國內半導體制造領域排名第一。2021年5月,公司入選浙江省創造力百強,成為寧波唯一一家獲此殊榮的半導體公司。
中芯寧波以客戶需求為導向,采用專業化特種工藝晶圓制造代工(Foundry)與應用定制化產品設計服務支持相結合的商業和運營模式,目標市場涵蓋5G通信與移動終端、智能家電與工業控制、工業物聯網與醫療電子等多個戰略性新興產業,致力于在專注領域發展成為中國最大、具有國際先進水平的特種工藝半導體晶圓代工制造商。
黃河博士是團隊靈魂
業內人人士還表示,中芯寧波取得的成績高度依賴黃河博士的領導。黃河博士是有史以來共40名“寧波市杰出人才”之一,為寧波半導體集成電路產業的發展做出了不可估量的貢獻。他是中芯寧波一切技術和業務的開拓者和主心骨。沒有黃河博士,就沒有中芯寧波的過去、現在和未來。
黃河博士放棄美國大公司的優厚待遇,2002年回國加入中芯國際,此后至2016年的十四年間一直從事特種工藝研發,是中芯國際甚至中國大陸幾乎全部特種工藝項目的主要開拓者。中芯寧波成立后,在黃河博士的感召下,幾十名核心技術與管理人員遷居寧波北侖,全身心致力于特種工藝半導體事業,也為帶動寧波集成電路產業發展做出了突出貢獻。五年間,公司從最初的幾個人逐漸發展到走向千人,全體員工一直緊密團結在黃河博士周圍,這既是因為黃河博士擁有無與倫比的專業能力,更是因為黃河博士人品出眾、極富凝聚力和領導力。
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